超純水,是一般工藝很難達到的程度，采用預處理、反滲透技術、超純化處理以及后級處理四大步驟，多級過濾、高性能離子交換單元、超濾過濾器、紫外燈、除TOC裝置等多種處理方法
純水設備，目前的主要工藝流程
1.預處理----復床 ----混床---拋光樹脂
2.預處理----反滲透---混床---拋光樹脂
3.預處理----反滲透----CEDI膜塊----拋光樹脂
中國國家實驗室分析用水標準（GB6682-92）《分析實驗室用水規格和實驗方法》：
指標名稱 一級水 二級水 三級水
1級水>10MΩ；2級水>1MΩ；3級水>0.2MΩ
PH值范圍（25℃） - - - - 5.0-7.5
比電阻MΩ.cm@25℃> 10 1 0.2
電導率（25℃）us/cm≤ 0.1 1 5
可氧化物[以O計]mg/L -- 0.08 0.40
吸光度（254nm,1cm光程）≤ 0.001 0.01 --
二氧化硅（mg/L） 0.02 0.05 --
蒸發殘渣（mg/L） -- 1.0 2.0
